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      真空計

      在真空裝置自動控制中,往往要進行真空測量,由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同,因此,從100000-0.00001的各個真空區域的真空測量均會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能,真空儀器廠家還生產包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調節等功能模塊板供用戶選配。因此,一個配置齊全的真空計,不僅能進行真空度測量、數字顯示、量程自動切換、誤差自動修正,而且能在壓力設定點發出控制信號去進行壓力控制,按設定壓力值進行壓力自動調節,還能將測量值打印記錄,并與上位機進行通信聯系,甚至還能進行遠距離真空測童與控制。
      (1)壓力控制儀
      在工業生產和科學實驗中,往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求,維持在某一給定值上。這種要求通?梢酝ㄟ^手動調節真空微調閥來完成,倘若希望自動地完成壓力調節,就要借助于壓力控制儀來完成。
      壓力控制儀通常由真空測量單元(真空計)、壓力自動調節電路和真空調節閥組成,它是集真空測量與壓力調節于一體的自動控制儀器。國產壓力控制儀主要有HY, ZDC, SYK, DL,ZZK等系列產品。
      表征壓力控制儀的主要技術指標是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應時間等。它取決于其配用的真空規管、控制電路及真空調節閥的性能。
      壓力控制儀廣泛應用于離子注人、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術及半導體材料等領域,其使用的環境條件與同類型的真空計大致相同。
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