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      爪式泵的特點


      爪式泵是為半導體工業發展而研制的,它有如下特點:

      1)泵腔內無潤滑劑,因而無返油現象發生。

      2)抽氣元件為非接觸式的可實現高速運轉(3000r/min)。

      3)與泵抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損。

      4)在泵腔內氣流垂直運動,少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除。

      5)該泵型式多樣,功能可以擴展,泵的主體,帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設備,附件有入口處防返流的閥門,出口處有截流閥,

      電氣監控及報警裝置。

      6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,上端蓋內德軸承用PFPE油脂潤滑。

      7)第二、三、四級均有凈化入口,以改善被抽介質順利通過泵腔,無此需要的可以不用通凈化氣體,凈化氣體用三個流量計分別調

      節,相互都是獨立的,以保證節約惰性氣體,利用三個電磁閥可微調其流量。

      8)入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷,出口處截流閥能將泵的出口封閉起來,將泵通以凈化氣體,這些閥可自動開關,真空系

      統有可靠得保護,杜絕了向真空室的返流。

      9)電氣監控與操作,主要有電源,遠距離操作和開關閥等的控制。

      當泵出現故障時,泵能自動停車,兩個閥門一齊關閉或截流閥關閉。動力和遙控有一臺變壓器和整流器,以提供所需的電流電壓,

      以滿足監控過程的需要。動力電源、繼電器用以對馬達的接通和斷開及馬達超負荷的保護。操作流程有顯示器,有按鈕控制,可控

      制馬達、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥,第二、三、四級的凈化氣體的通斷閥,惰性氣體的主按鈕操作。啟動時門打開凈化

      氣體,泵正常運行3min,凈化氣體向各段通入,通凈化氣體對泵性能有影響。每當遇到緊急情況可按停車鍵,凈化氣體繼續接通,

      關閉入口防返流閥,各級泵凈化1min,凈化結束馬達再停車,關閉惰性氣體截止閥。




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